“超大规模集成电路（VLSI）用超纯硅烷”项目有效利用公司现有生产设备，通过改造低温分离装置、硅烷反应釜和采用自有专利技术对生产过程中排放的无水液氨气体进行回收循环利用；形成利用现有生产装置实现生产99.9999%超纯硅烷的能力；有效解决了产品包装的技术难题。项目技术路线合理，解决的技术难题具有代表性，项目技术达到国内领先水平。该项目已申报国家专利6项，其中发明专利4项（已公告），实用新型专利2项（已授权）。参与制定国家标准1项（已颁布实施）。
此次承担的江苏省科技支撑计划（工业部分）项目“超大规模集成电路（VLSI）用超纯硅烷”项目顺利通过了省辖市科技主管部门的验收，表明我公司在科技创新、研发等方面取得的巨大进步，南京特种气体厂有限公司将继续加强产学研合作，促进科技成果的转化，促进企业在电子气体行业又好又快的发展打下坚实的基础，并且借此基础像苏州金宏气体一样在电子气体行业为国家做出贡献。